TMCS TACIS 4主動隔振系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體隔振

產(chǎn)品概述

STACIS®4是**的主動隔振系統(tǒng)。它裝有慣性振動傳感器，配合準(zhǔn)確的控制算法與*的壓電作動器。STACIS 4可實時偵測地面振動再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻消除地面振動。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術(shù)基礎(chǔ)上，該技術(shù)被全Q十個大半導(dǎo)體制造商中的九家所使用。

起初STACIS是為半導(dǎo)體工廠的精密光刻機，計量儀和檢測設(shè)備而設(shè)計，如今是嘈雜環(huán)境中z敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)隔振解決方案，包括但不限于故障分析，納米技術(shù)研究，納米制造，結(jié)構(gòu)生物學(xué)和材料研究等應(yīng)用。
STACIS 4包括新改進(jìn)的，低噪聲的數(shù)字控制器，DC-2020帶有雙核處理器。這種新的控制系統(tǒng)為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI)。

STACIS 4建立在前幾代的成功架構(gòu)上，增加了*的控制算法和新的專有技術(shù)。以前無法實現(xiàn)對建筑物地面所有頻率的振動消除，但特別是10Hz以下的振動，對高分辨率成像和計量來說*敏感的。當(dāng)與FloorSense™技術(shù)相結(jié)合時，STACIS 4在2Hz時可減少60 dB的建筑物地面振動，在1Hz時可減少27dB。

TMCS TACIS 4主動隔振系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體隔振

產(chǎn)品優(yōu)點：

STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同。STACIS 4可以放置在具有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面，且兩個隔振系統(tǒng)相互兼容。
     特別的串聯(lián)設(shè)計和專有的壓電技術(shù)所產(chǎn)生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離，在2Hz時可減少99.9%的振動。
     比STACIS III更好的振動控制，與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案相比，STACIS 4將2 Hz的振動控制提高了60 dB以上。
     穩(wěn)定的串聯(lián)設(shè)計允許使得您安裝后即可，無需再次安裝調(diào)試，不像并行式設(shè)計本質(zhì)上是不穩(wěn)定的，需要頻繁調(diào)整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允許兩級振動控制設(shè)計，可以在STACIS III系統(tǒng)之上結(jié)合被動或主動的平行平臺。隨著對儀器的振動分辨率的要求越來越高，兩級設(shè)計正變得越來越普遍。
     STACIS 4的性能相當(dāng)于在穩(wěn)定的地面上減少5個VC曲線的振動。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環(huán)境中安裝儀器，從而在設(shè)施布局和設(shè)計方面具有更大的適配性。

產(chǎn)品規(guī)格

應(yīng)用案例：

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

探測器：光電探測器、單光子計數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉(zhuǎn)臺、微型操作器等等

光源：半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應(yīng)力光機械件，如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學(xué)平臺：主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學(xué)元件：各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等