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技術的進步也擴大了主動隔振平臺的適用范圍
更新時間:2020-08-07   點擊次數:1044次
 主動隔振平臺采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和*的壓電致動器,通過連續測量地板活動,擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時振動隔離,在一開始的設計中,主要用于*半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備振動隔離, 如今也可以成為嘈雜環境中敏感儀器的行業標準解決方案,隨著技術的不斷提升,該隔振平臺廣泛應用于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備和材料研究。

相比于氣浮支腿,主動隔振平臺更加堅固可靠,且不存在氣浮隔振系統離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐,并且與主動的氣浮系統不同,可以放置在具有內部主動空氣隔離系統的設備下面,且兩個隔振系統相互兼容。此外,該隔振平臺設計有*的通信串口和專有high-force壓電技術導致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲,以及從2Hz開始主動振動消除性能可達到90%。
 

 
主動隔振平臺在世界各地有數百個成功安裝案例,對于大部分振動敏感儀器來說都是理想的振動消除系統。
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